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第3回講習会
「X線反射率による薄膜・多層膜の解析」
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主催
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(社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
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開催期日
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2009年5月22日(金) 8:30〜16:30
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開催場所
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独)物質・材料研究機構 千現地区(〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 電話 029-859-2000)
つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
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内容
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X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習を少人数のグループ(A経験者コース、B解析体験コース、C初学者コース)にて、きめ細かく行ないます。
休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、 7名の専門家がお答えします。
教材 「X線反射率法入門」(講談社、本体価格5775円)を参考書として配布するほか (ご希望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します)、午前・午後のすべての講義に完全対応したレジュメを用意いたします。
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参加費
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19,000 円 (「X線反射率法入門」をお持ちの方は14,000円)
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参加申込方法
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氏名(ふりがな)、所属、住所、TEL、FAX、e-mail、 応用分野(「半導体・磁性体薄膜」または「有機薄膜」)と実習コース(A,
B, C)のご希望をご連絡下さい。折り返し受付の連絡と請求書の郵送をいたしますので、入金をお願いします。入金完了をもって、参加申込み完了となります。(定員40名)
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連絡先
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〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 物質・材料研究機構
桜井健次 (TEL 029-859-2821、FAX 029-859-2801、e-mail
sakurai@#-NO-SPAM-#yuhgiri.nims.go.jp)
(メールアドレスは「#-NO-SPAM-#」を削除してご利用ください)
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その他
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カリキュラム、申込方法の詳細
http://www.nims.go.jp/xray/ref/TutorialXRR2009.htm
受講費振込先 「ジャパンネット銀行(銀行コード0033)、本店営業部(支店コード001)、普通3844666、ウモレタカイメン」または「水戸信用金庫、つくば支店(店番035)、普通0237487、ウモレタカイメンサクライケンジ」
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