|
第20回プラズマエレクトロニクス講習会
「プラズマプロセスの基礎と応用」
‐低圧･大気圧実用プロセシングから先進薄膜･バイオ応用まで‐
|
|
主催
|
|
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
|
|
共催、協賛
|
|
日本物理学会 他10学協会 協賛
|
|
開催期日
|
|
１0月29日（木） 10：00−17：30
１0月30日（金） 10：00−17：30
|
|
開催場所
|
|
慶応義塾大学（日吉キャンパス)
来往舎 シンポジウムスペース
〒223-8521 神奈川県横浜市港北区日吉4-1-1
TEL： 045-566-1101 (日吉研究支援センター)
|
|
内容
|
|
プラズマプロセス技術は、低圧下における微細加工の分野で飛躍的に発展し、近年では大気圧下での表面改質・洗浄に活用されるほか、ナノエレクトロニクス分野や滅菌等の医療分野においても大きく注目される産業基盤技術です。多様化するプラズマプロセスにおいて、プラズマの特性を理解し活用することがより重要になってきております。こうした背景を踏まえて、当分科会では各分野をリードする一流の講師を招き、プラズマプロセスの基礎から応用にわたる講習会を開きます。プラズマの基礎を理解したい初学者からプラズマ技術の最新応用に関心をもつ技術者や研究者の方を対象としました。奮ってご参加ください。
１0月29日（木） 10：00−17：30
１．プラズマの生成・制御
節原裕一 （大阪大学)
２．プラズマ計測-電気的手法を中心として-
中村圭二 （中部大学)
３．プラズマによる薄膜形成技術
宮崎誠一 （広島大学)
ポスターセッション･懇談会
１0月30日（金） 10：00−17：30
４．プラズマによるエッチング技術
江利口浩二 （京都大学)
５．プラズマ計測：光学的計測
白谷正治 （九州大学)
６．大気圧プラズマの応用
奥村智洋 （パナソニック)
７．プラズマの医療・バイオ応用
永津雅章 （静岡大学)
|
|
参加費
|
|
参加費：テキスト代を含む。括弧内は学生。
協賛学協会員42,000円（15,000円）
その他
45,000円（18,000円）
参加費振込先：
三井住友銀行 本店営業部 普通預金 口座番号 ３３３９８０８
(社) 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
（参加費振込期限：10月21日）
|
|
参加申込方法
|
|
プラズマエレクトロニクス分科会ホームページに用意した参加申込みファイルに必要事
項をご記入のうえ、下記の申込み担当者宛に電子メール添付ファイルとしてお送り下さい。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
|
|
連絡先
|
|
〒239-8686 横須賀市走水1-10-20
防衛大学校 電気電子工学科 北嶋 武
TEL: 046-841-3810（内線3336)
FAX: 046-844-5903
e-mail: kitajima@#-NO-SPAM-#nda.ac.jp
(メールアドレスは「#-NO-SPAM-#」を削除してご利用ください)
|
|
その他
|
|
|