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・特別講演
「CIGS太陽電池の現状と将来展望」
仁木 栄 氏（産業技術総合研究所）
「プラズマで拓くナノカーボン・バイオ融合科学」
畠山 力三 氏（東北大学）
・指定テーマ講演
「超臨界流体プラズマによる分子変換」
後藤 元信 氏（熊本大学）
「放電プラズマによるEUV光源」
堀田 栄喜 氏（東京工業大学）
「集積モニタリングによる低圧コンビナトリアルプラズマプロセス」
堀 勝 氏（名古屋大学）
「多層配線技術の動向とプラズマプロセスダメージ」
松永 範昭 氏（株式会社 東芝）
・一般講演（口頭発表またはポスター発表）
１）プロセシングプラズマの発生・制御
２）プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
３）プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
４）プラズマによるエッチング（ゲートスタック，ダマシン，MEMSなど）
５）プラズマによる薄膜形成（絶縁体，導電体，半導体，金属，Low-k,
High-k，配線材料，透明導電膜など）
６）プラズマによる表面改質（酸化，窒化，イオン注入，クリーニングなど）
７）大気圧・マイクロプラズマの基礎と応用
８）プラズマ応用技術
8-1）ナノテクノロジー（ナノ構造物質［炭素系，窒化物系］，ナノ粒子など）
8-2）バイオテクノロジー（バイオチップ，殺菌・滅菌など）
8-3）環境応用
8-4）光応用・発光デバイス用プラズマ
8-5）フラットパネルディスプレー・ジャイアントエレクトロニクス
９）上記以外のプラズマプロセシング
懇親会
2010年2月1日（月）19:00〜21:00に開催 （詳細は下記のWebサイトに後日掲載）
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